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中文名：ICP-新Ⅲ-Ⅴ族 |
英文名：ICP New Ⅲ - Ⅴ |
仪器型号：Cobra 180 |
设备分类：刻蚀设备 |
房间：D115 |
负责人：杨 凡/李 攀 |
生产厂家：
牛津仪器
仪器介绍：
Cobra 180 具有快速气体切换功能，可以进行ALE刻蚀，刻蚀温度最高可到400℃，适合三五族材料刻蚀。
主要功能：
三五族刻蚀，Si、Al 、氧化铝的ALE刻蚀
技术指标：
样品最大支持8英寸。现有压环4英寸。
气体种类及最大流量（sccm）Ar：100、O2：20、O2：200、SF6：100、CHF3：100、CF4：100、N2：100、H2： 100、CH4：100、Cl2：100、BCl3：100。
射频功率600W（13.56MHz）、ICP功率3000W（2MHz）。
具有ALE原子层刻蚀功能。
温度范围-20℃~400℃。
价格：
校内：700元/60分钟
校外：1000元/60分钟
单位预约时间：30(单位:分钟)
设备上线时间：2023年
状态：正常
设备大图：
