湿法工艺
湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术，平台现有的湿法刻蚀设备为氢氟酸气相腐蚀机，能有效改善湿法刻蚀中粘附带来的微纳结构性能降低和失效问题，有助于节省实验时间和开发成本。
工作原理：该设备利用氢氟酸有机溶剂正在加热的条件下，蒸发的氢氟酸和有机溶剂分子等气态分子吸附在结构表面，生成过氟化氢酸根离子，然后在有机溶剂的催化作用下，与二氧化硅反应生成可挥发性的硅氟化物，从而实现对二氧化硅的刻蚀。
性能指标：对晶圆尺寸150毫米（6英寸）或碎片进行静电夹持，使用刻蚀剂为50%HF或者HF与有机溶剂的混合物，刻蚀速率2-30μm/h，单晶圆刻蚀均匀性为90%（最低50%），刻蚀剂体积200毫升（最大290毫升）可重复利用。
