平台简介
华中科技大学先进微纳加工中心位于武汉光电国家研究中心新光电信息大楼，始建于2005年9月。平台使用总面积约2300平方米的超净实验室，拥有近百台（套）工艺平台代表性设备，现有设备总资产约2亿元，是先进的开展微纳结构光电器件研究的平台。
平台建有完善的动力、净化空调及气体保障系统。拥有“电子束曝光系统（EBL）”、“紫外光刻机”2台、“步进式光刻机”1台、“无掩模光刻机”2台、“纳米压印机”1台、“键合机”1台、“刻蚀机（ICP、RIE）”7台、“低压化学气相沉积(LPCVD)”2台、“等离子体增强化学气相沉积(PECVD)”1台、“分子束外延生长系统(MBE)”2台、“电子束蒸发镀膜机”2台、“磁控溅射镀膜机”3台、“离子束溅射机”1台、“光学镀膜机”1台等多台大型工艺设备；另有“高分辨率XRD”、“椭偏仪”、“原子力显微镜(AFM)”、“台阶仪”、“FIB/SEM双束电镜”2台、“高分辨SEM”等测试设备；平台可开展光电子器件、半导体器件制作、中试及检测工作。
微纳平台是一个公共服务平台，向全国社会机构、大学和企业开放，提供项目合作、人员培训、开发设计和微纳加工等服务。
