发布人：李攀 发布时间：2021-05-26 点击：
中文名：等离子去胶机
英文名：Plasma surface cleaning system
仪器型号：DIENER PICOS
设备分类：清洗设备
房间：D区1楼
负责人：李 攀
生产厂家：
德国PICO
主要功能：
用于半导体加工工艺及其它薄膜加工工艺过程中，各类感光胶的干法去除。
技术指标：
射频功率：0-200W可调
工作气体：O2
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