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中文名：8英寸磁控溅射镀膜机 |
英文名：Magnetron Sputtering Coating Machine |
仪器型号：JCPY600 |
设备分类：薄膜沉积 |
房间：D区1楼 |
负责人：黄 光/张广学 |
生产厂家：
北京泰科诺科技有限公司
仪器介绍：
进行薄膜新材料的科研与小批量制备
主要功能：
平台提供以下材料的靶材：Al、Cr、Ni-Cr(80Ni:20Cr wt%)、Ti、Cu、SiO2、W。其他材料请自备靶材。
技术指标：
样品托盘为8英寸，4英寸。溅射面积最大为8英寸。靶材尺寸为直径100毫米。现有靶材Cr。气体:氩气，氧气，氮气。溅射方式:直流/射频。4靶位。衬底可加热500℃。
价格：
校内：400元/60分钟
校外：600元/60分钟
单位预约时间：30(单位:分钟)
设备大图：
