发布人：李攀 发布时间：2021-05-24 点击：
中文名：磁控溅射镀膜机
英文名：Magnetron Sputtering Coating Machine
仪器型号：JCPY500
设备分类：薄膜沉积
房间：D区1楼
负责人：黄 光/张广学
生产厂家：
北京泰科诺科技有限公司
仪器介绍：
进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
主要功能：
溅射方式：直流/射频；3靶位；可加热。
技术指标：
样品托盘为6英寸，溅射面积最大为4英寸；
靶材尺寸为直径75毫米，现有靶材：Al/Ti/镍铬合金;
气体：氩气/氧气。
价格：
校内：400元/60分钟
校外：600元/60分钟
单位预约时间：30(单位:分钟)
设备大图：
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