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中文名：RIE_国产 |
英文：Multi-function reactive ion etching machine |
仪器型号：MERIE-3A |
设备分类：刻蚀设备 |
房间：D115 |
负责人：李 攀/杨 凡 |
生产厂家：
中国科学院微电子中心
仪器介绍：
多功能反应离子刻蚀机|ME-3A，基于等离子体对材料进行干法刻蚀
主要功能：
石墨烯，金属，二维材料等刻蚀
技术指标：
多功能反应离子刻蚀机|ME-3A，氧气/Ar/CHF3/SF6/，兼容四寸及以下刻蚀。
价格：
校内：200元/60分钟
校外：400元/60分钟
单位预约时间：30(单位:分钟)
设备上线时间：2002年
状态：正常
设备大图：
