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中文名：探针式表面台阶测试仪（台阶仪） |
英文名：Stylus Profiling System |
仪器型号：DEKTAK-XT |
设备分类：测试设备 |
房间：D117台阶仪手动/ D113台阶仪光刻 |
负责人：叶倩玉/许 蔚 |
生产厂家：
美国Bruker公司
仪器介绍：
DEKTAK-XT探针式表面轮廓仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。
主要功能：
能方便快捷地设置和运行测试程序来检验晶片薄膜厚度、台阶高度和凹坑深度，达到纳米级别，根据测试结果来精确调整刻蚀和沉积工艺。
技术指标：
台阶高度重复性4Å；
扫描长度：50um-55mm；
垂直测量范围： 0-1mm（样品最大台阶高度不能超过500um）；
垂直分辨率：最大1Å（6.5um量程范围)；
探针压力：1－15mg ，常用3mg；
探针曲率半径：标配2um；
注意事项：
若台阶间隔小于4um或凹槽宽度与4um很接近，探针无法到达底部区域。
价格：
校内：200元/小时
校内：250元/小时
单位预约时间：12(单位:分钟)
状态：正常
其它细节图/成品图：
设备大图：
台阶仪（手动）
台阶仪(光刻间）
