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中文名：电化学电容电压剖析仪ECV |
英文名：ECV |
仪器型号：dage WAFER PROFILER CVP 21 |
设备分类：测试 |
房间：D区1楼 |
负责人：徐 巍/许 蔚/叶倩玉 |
生产厂家：
德国Wep科技公司
仪器介绍：
电化学ECV主要用于半导体材料的研究及开发，其原理是使用电化学电容-电压法来测量半导体材料的掺杂浓度分布。
主要功能：
采用电化学腐蚀的方法，对半导体Wafer材料进行深度-载流子浓度的测试。
技术指标：
主要应用范围为GaAs及InP系材料，对GaN材料腐蚀较慢。
最佳测试范围：载流子浓度量级1015~1020/cm3。
设备大图：
