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中文名：热场发射扫描电镜 |
英文名：SEM |
仪器型号：Nova NanoSEM 450 FP2053/45 |
设备分类：测试设备 |
房间：D111 |
负责人：苏 俊 |
生产厂家：
捷克FEI公司
主要功能：
以波长极短的电子束聚焦后在样品表面扫描，接收从样品表面激发出的二次电子信号成像。主要用于观察固体表面的形貌，也能与EBSD或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析。此电镜可对导电率小的材料分析，还可进行环境气氛下材料研究。
技术指标：
分辨率： 高真空成像，0.8 nm @ 30kV (STEM) 1.0 nm @ 15 kV (TLD-SE) 1.4 nm @ 1 kV (TLD-SE)，非减速模式3.5 nm @ 100 V (DBS) 高真空分析，分析工作距离 3.0nm @ 15 kV & 5nA (TLD-SE) 低真空成像， 最佳工作距离 1.5 nm @ 10 kV (Helix探测器) 1.8 nm @ 3 kV (Helix探测器)。
设备大图：
