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中文名：扫描电镜/聚焦离子束电镜系统 |
英文名：SEM/FIB |
仪器型号：Quanta 3D FEG SEM/FIB |
设备分类：测试设备 |
房间：D111 |
负责人：苏 俊 |
生产厂家：
美国FEI公司
主要功能：
SEM/FIB双束系统主要用于在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。同时，配备纳米机械手之后，可以定点制备TEM样品，此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。
技术指标：
FIB最大束流达到65nA
扫描电镜电子束流最大200nA
环境扫描(ESEM)技术: 高真空， 低真空和环境真空三种真空模式
1kV分辨率(高真空) 2.9nm
3kV分辨率(低真空) 2.9nm
30kV STEM(高真空)分辨率 0.8nm
设备大图：
