EVG紫外曝光机

生产厂家：

奥地利EVG

仪器介绍：

EVG 620NT是一款通用性和可靠性极强的光刻机，提供先进的掩膜对准技术。可选择半自动或全自动配置，满足大批量生产和Fab标准。

主要功能：

光刻及键合前的晶圆对准。

技术指标：

手动上片支持硬接触，软接触，接近及真空接触曝光模式；

光刻最大支持4吋基片，预键合对准2，3，4吋圆片；

UV-LED光源（包含I-line(365nm)，H-line(405nm)以及G-line(436nm），光强均匀度：≤ 4％，曝光分辨率≤ 0.8μm；

双面可见光对，准精度正面±0.5μm，背面±1μm。