（1）此文档根据日常咨询的问题整理，如有疑问，可咨询老师和当天刻蚀区助管。（2）设备异常情况及时联系联系助管和老师，严禁私自操作，助管的联系方式在老三五刻蚀设备旁边。1刻蚀设备选择为了避免不同刻蚀材料的交叉污染，将设备刻蚀材料分类如下表老三五ICPInP；GaAs；Cr；Al2O3；TiO2；SiO2新三五ICPInP；GaAs；AlNSi-ICPSi；SiO2；深SiNLDLiNbO3；SOI的浅Si刻蚀新RIE SENTECHSiO2；InP旧RIEPt; Cr2刻蚀程序的关键参数和指...

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