申请须知：1、非工作时间必须提前提交纸质加班申请，并通过工程师或助管在预约系统预约所用的设备。没有用到仪器设备的，需要自行预约“超净间”方可进入平台。2、进入平台必须两人同行，同时进出。不得在申请时间之外使用超净间。3、用到通风橱、匀胶机的，必须提前告知动力值班人员，打开排风系统和真空系统。4、未经许可，不准使用未申请加班的仪器设备。5、未经许可，禁止进入特气间、动力站等区域。6、废液倾倒前，需确认...

l 目的保持微纳工艺与表征平台区域内洁净度符合半导体工艺的基本要求，避免颗粒的污染；保障所有设备的长时间稳定运行；保证各项研发工艺质量。l 范围微纳工艺与表征平台区域。 1.进出超净工艺间登记制度1.1除微纳工艺与表征平台专职工作人员外，任何人进出超净工艺间必须在值班员处按要求登记，登记后由值班员发放更衣柜钥匙；1.2对未进行登记私自进入超净工艺间的人员，一旦查出将给予严重警告，累计不登记达三次者，将取消...