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中文名：电子束蒸发镀膜系统 |
英文名：EBE |
仪器型号：Ohmiker-50B |
设备分类：薄膜沉积 |
房间：D115 |
负责人：徐 巍 /徐 巍 |
生产厂家：
台湾崇文科技有限公司
仪器介绍：
Ohmiker-50B为产业化提供了稳定的薄膜蒸发支持，可兼容多尺寸样品，4英寸向下兼容，可蒸发多种金属材料：Ni/Ti/Au/Al/Cr/Ag/Cu。
主要功能：
金属薄膜物理沉积，温度范围20-120℃
气体：GN2。
金属种类：Ni/Ti/Au/Al/Cr/Ag/Cu
技术指标：
1、工作真空度：8E-6Torr
2、镀膜速率：0~10A/S可调
3、镀膜温度20~120℃
4、样品尺寸：4英寸向下兼容
5、片上不均匀性≤3%
注意事项：
贵金属Au，按厚度单独收费1nm：16元。
价格：
校内：500元/60分钟
校外：700元/60分钟
单位预约时间：60分钟
状态：正常
其它细节图/成品图：
设备大图：
