扫描电镜/聚焦离子束电镜系统（SEM/FIB）

型号

Quanta   3D FEG SEM/FIB

制造商

美国FEI公司

主要功能

SEM/FIB双束系统主要用于在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。同时，配备纳米机械手之后，可以定点制备TEM样品，此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。

技术指标

FIB最大束流达到65nA

扫描电镜电子束流最大200nA

环境扫描(ESEM)技术: 高真空， 低真空和环境真空三种真空模式

1kV分辨率(高真空)   2.9nm

3kV分辨率(低真空)   2.9nm

30kV   STEM(高真空)分辨率 0.8nm