l 目的
保持微纳工艺与表征平台区域内洁净度符合半导体工艺的基本要求，避免颗粒的污染；保障所有设备的长时间稳定运行；保证各项研发工艺质量。
l 范围
微纳工艺与表征平台区域。
1.进出超净工艺间登记制度
1.1除微纳工艺与表征平台专职工作人员外，任何人进出超净工艺间必须在值班员处按要求登记，登记后由值班员发放更衣柜钥匙；
1.2对未进行登记私自进入超净工艺间的人员，一旦查出将给予严重警告，累计不登记达三次者，将取消三个月进入超净工艺间的资格。
2 进出超净工艺间管理制度
2.1 进入超净工艺间顺序
2.1.1超净工艺间入室顺序：脱一次鞋—→穿上净化服—→穿上净 化袜—→穿上净化鞋—→戴上净化帽—→洗手—→戴上口罩—→手套—→进风淋室—→入室
2.1.2 离开超净工艺间顺序：出口—→脱下手套—→脱下口罩—→脱下净化鞋—→摘下净化帽—→脱下净化服—→净化鞋归位—→整理净化服挂于衣架上或放回更衣柜—→出更衣室
2.2超净工艺间内着装要求
2.2.1净化服内不允许穿戴毛织类衣服；
2.2.2禁止浓妆、喷洒香水等化妆活动；
2.2.3净化服具的穿用规则：
▲外 衣：脱掉外衣，挂在专用衣架上或放置在更衣柜中；
▲净化服：禁止在净化服上随意涂写及粘贴，禁止改制；
▲净化帽：戴好净化帽，净化帽必须锁好领口，禁止头发外露；
▲净化袜：应穿紧，不要松落；
▲净化鞋：不准踏鞋后跟穿着，尽量选用合适的尺码，不要过大或偏小；
▲口 罩：须带在鼻梁至下颚之间，并在鼻梁处弯曲一下，使口罩与鼻子间的间隙达到最小；
▲净化手套：一次性手套口应放入净化服袖口内避免皮肤露出。
2.3 进入超净工艺间的行动标准
2.3.1禁止带入如打火机、装饰品、食品、饮料、钱包、手帕、书刊报纸或其它等个人物品。
2.3.2 风淋管理要求：
▲风淋室同时进入人数不能超过两人；
▲风淋时须经过规定时间，使全身受到风淋。出风淋室后，必须随手关上风淋门。
2.3.3以下人员禁止进入超净工艺间：非工艺相关人员或事先未得许可者；未按照规定穿着洁净服者；刚做完剧烈运动流汗者；吸烟、喝酒或吃东西后，尚未经过半小时以上者。
2.3.4 在净化厂房内，为了不产生尘埃，人员禁止以下事项：
▲禁止人员跑动、打闹等剧烈活动；
▲禁止未垫无尘纸直接坐在地板上；
▲禁止在净化间内吃东西，嚼口香糖或喝水等；
▲禁止挽起袖子；
▲设备维修人员工作时，应在地面上铺上塑料纸，并把零件整齐摆放在塑料纸上，工作完后及时清理掉。
3 超净工艺间日常管理制度
3.1 超净工艺间净化服具管理
3.1.1 所有净化服和净化鞋均应整理好并存放在更衣柜中，净化服、净化鞋达到清洗周期时应及时交与由管理员清洗，以确保所有的净化服与净化鞋都能在规定的周期内保持洁净。
3.1.2 净化服和净化鞋的清洗周期规定：专职工作人员的净化服清洗周期为7天，其他人员净化服清洗周期为14天。
3.1.3 净化服和净化鞋如有破损或沾污无法去除时，应及时申请更换。3.1.4未破损的净化服和净化鞋应在使用2年后给予更换，以确保净化 服和净化鞋的防静电效果。
3.1.5净化手套更换周期规定：进出超净工艺间一次，更换一次，如有破损，随时更换。
3.2 进入超净工艺间的设备、物品、用具、原辅助材料管理
3.2.1 物品、原材料及设备搬入净化区必须经过以下洁净程序：
原材料及设备去除外包装—→初步外部清洁—→移入外部走廊—→去除内层包装—→清洁原物料或设备表面—→移入超净工艺间
3.2.2 物品、原材料及设备搬出超净工艺间按搬入程序反向即可，但不需经过洗涤程序。
3.2.3设备、仪器、工具进入超净工艺间前应用气枪冲去灰尘，再用干净湿布或酒精擦洗等方法进行清洁处理。
3.2.4 禁止以下设备、物品带入超净工艺间：
▲禁止带入没有经过清洁过程的设备、备件等各种物品；
▲禁止带入纸箱、影印资料等；
▲禁止带入铅笔、橡皮擦、墨水等。
3.3 超净工艺间的保洁管理
3.3.1 每个工艺间内配置有专用密封垃圾桶。
3.3.2 超净工艺间内配有工艺垃圾集中收集桶。
3.3.3各工艺间产生的工艺垃圾每天要及时倒入集中收集桶，保洁员每天下班前移除工艺垃圾。
3.3.4 每天上班后各工艺间专职工作人员负责打扫地面卫生、擦拭设备及各工作台面等。
3.3.5 每天下班前保洁员负责打扫超净工艺走廊卫生。
3.4 排尘系统与发尘性作业管理
3.4.1 排尘系统须保持超净工艺间内一定的正压（MOCVD工艺间除外），使尘埃能排出。
3.4.2 整理、清扫完后的废物、垃圾应立即撤到超净工艺间外，不使其再次污染环境。
3.4.3 发尘性作业应尽量安排在停产期且在一定的防尘措施下进行。
3.4.4 发尘性作业时，应事先在发尘区域用塑料纸围住或设置临时隔离板，以防止尘埃的扩散。
3.4.5 作业过程中须进行点检，如保护用具及塑料纸破损的话，应及时进行修补。
3.4.6发尘区域内有可移动的设备、备件等事先应转移到不受污染的地方，对不能移动的物品，须用塑料纸进行密封处理。
3.4.7 在发尘区域，为了保持其正压，应采取排气措施或堵住空调的吹出口。
3.4.8 发尘区域出入口随时注意关门，以避免尘埃进入洁净区。进出发尘区域，应保持在规定的路径上。
3.4.9 对发尘性大的作业，应通过吸尘器边吸边做，防止产生大量尘埃。
3.4.10 发尘性作业期间，每天应进行清扫工作。
3.4.11 设备维护或修理等发尘性作业完成后，应及时清理产生的尘埃或垃圾。
4 超净工艺间安全准入制度
4.1 安全准入
4.1.1 任何人员需要在平台上开展工艺研究时，需通过安全培训，考试合格后，由经费负责人、平台安全员签字，录指纹，才可以进入超净间开展工艺。
4.1.2各设备主管工程师、助管必须认真做好工作记录，登记设备使用细节及状态。
4.2 设备操作使用管理制度
4.2.1微纳工艺与表征平台所有设备均由专职工作人员做为设备责任人。
4.2.2 超净工艺间所有设备的操作及工艺研发由专职工程师或取得资格证的教师或学生执行。
4.2.3 使用设备时必须严格按照相应的《操作指导书》进行操作。
4.2.4使用设备前必须得到设备主管工程师的许可，确认设备状态正常后方可使用。
4.2.5设备使用完毕后，必须将设备设置在安全状态，清除工艺垃圾并通知主管工程师后方可离开超净工艺间。
4.2.6 以下人员禁止操作使用设备
▲未得到主管工程师资质认可的专职工作人员。
▲未获得操作资格证的教师或学生。
▲被临时取消资格证的教师或学生。
4.3 培训及考核管理制度
4.3.1 专职工作人员培训
▲新员工录用后，由微纳工艺与表征平台组织安排入职培训，培训内容为微纳工艺与表征平台设备组成、相关管理制度、安全基本知识、设备知识、质量管理要求、工艺基础等。
▲入职培训期间，新员工在各项培训考核中有不合格的，由微纳工艺与表征平台根据人员需求时间协商确定该员工的下阶段培训及工作计划，根据个人表现，可给予其延长培训时间、更换工作岗位或立即辞退的处理。
▲入职培训考核成绩合格后的新员工转入指定岗位工作，由微纳工艺与表征平台指派具备相应的工程师，负责对新员工进行传、帮、带。根据各工艺的复杂程度不同，试聘期一般安排为3～6个月。
▲培训期内，培训人和被培训人均应做好培训记录。
▲在试聘期间，严禁新员工独立操作设备。
▲在试聘期间，指定的培训工程师与所在工艺的工程师应给予操作与理论知识的教育与指导，期间发生的工作过失（除屡教不改之外）由试聘人员、指定的培训工程师及责任工程师共同承担。
▲试用期满后，由所在工艺的相关负责人进行考核评估，组织填写考核表并呈交给主管领导。
▲考核合格后，颁发“资格证”。
