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中文名：单面抛光机 |
英文名：Single-Side Polisher |
仪器型号：TSP-450 |
设备分类：抛光设备 |
房间：D114 |
负责人：方程 |
生产厂家：
北京特思迪半导体设备有限公司
仪器介绍：
该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备，配置抛光盘冷却和温度监控系统，保证抛光过程恒温，设备操作简单、配置丰富，可搭配不同抛光垫，配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。
主要功能：
将晶圆片真空吸附在吸盘上，待抛光面与抛光盘接触，吸附夹具施加压力，在抛光液及抛光盘等作用下，进行抛光。
技术指标：
抛光头转速：0～60 rpm，速度可调，Ф100mm 晶片的总厚度偏差（TTV）在3微米以内，去除速率不低于300 nm/min。
抛光盘规格：OD450 mm，抛光头加压方式：砝码或真空抛光压头，抛光头：具备摆动功能
价格：
校内：275元/60分钟
校外：500元/60分钟
单位预约时间：30 (单位:分钟)
状态：正常
设备大图：
