加速电压：50kV-100kV 电子束最小束斑：2.2nm 加工精度：<8nm线条 拼接精度：<20nm@250微米写场@100kV 写场大小：256*256微米2@100kV，409*409微米2@50kV 电子束流：0.1nA至100nA 直写样片尺寸：2寸，3寸，4寸，50mm，100mm，150mm（可扩展），非标准小片 衬底材料：各种表面平整的固体衬底材料。
曝光收费标准
曝光时长 ：1小时1000元（不足0.5小时算0.5小时，以此类推）
助管人工费 ：每个样片加收0.5*1000的人工费 特殊工艺 套刻：每片300元
PEC ： 100元 SOI : 1.5cm*1.5cm 200元
光刻胶AR-P6200系列 ：1.5cm*1.5cm 150元 |
