8英寸磁控溅射镀膜机

型号

JCPY600

制造商

北京泰科诺科技有限公司

主要功能

平台提供以下材料的靶材：Al、Cr、Ni-Cr(80Ni:20Cr wt%)、Ti、Cu、SiO₂、W。其他材料请自备靶材。

技术指标

样品托盘为8英寸，4英寸。溅射面积最大为8英寸。靶材尺寸为直径100毫米。现有靶材Cr。气体:氩气，氧气，氮气。溅射方式:直流/射频。4靶位。衬底可加热500℃。