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中文名：电子束离子束双束电镜系统 |
英文名：Electron/Focus Ion Dual Beam System |
仪器型号：SOLARIS GMH |
设备分类：测试 |
房间：D111 |
负责人：苏 俊 |
生产厂家：
捷克泰思肯（TESCAN）公司
仪器介绍：
聚焦离子束-电子束双束电镜（SOLARIS GMH）具有较高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理，可对材料进行微纳米表征、微纳加工和TEM样品定点制备等。该电镜广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。此外，近期配备能谱仪（EDS）之后，还可用于样品表面和一定深度的元素定量、定性分析，多元素面扫描和线扫描分布测量。
技术规格及参数：
1、离子镜筒部分（Ga离子源）：
束流强度：1pA–100nA
离子束分辨率：30kV时2.5nm（统计分辨率）
离子束加速电压范围：500V-30kV
最大视野：1mm@10kev
2、电子镜筒部分
电子枪：热场发射电子枪
电子束最佳分辨率：15kV时0.6nm； 1kV 时0.9nm
电子束在离子束交汇点分辨率:15kV时0.9 nm,1kV时2nm
电子束束流：2pA-400nA
视野范围：4.3 mm@WD=5mm, >10 mm 在最大工作距离时
3、样品全观察范围：达到8英寸晶圆。配备8英寸晶圆相应的解决方案
4、样品台和样品室 Z轴移动行程：样品台倾斜范围：-10°到+ 60° 旋转：计算机控制优中心360° 最大样品高度：132mm（不安装旋转台） 最大样品尺寸：直径 180mm
5 、配置样品交换仓load lock
6、气体注入系统 已有Ga离子源， 配备单只气体注入系统：Pt气源
7、机械手 机械手行程范围X=11mm, Y=6mm， Z=12mm，移动精度达到5nm，移动速度100 nm/s~ 3 mm/s。
8、探测器部分 配备样品室ETD探测器 样品室可伸缩背散射电子探测器 镜筒内探测器2个，分别为镜筒内轴向探测器和镜筒内多功能探测器 配备STEM探测器，分辨率0.5nm@30kv
9、电致冷能谱仪 电制冷探测器，，有效晶体面积60mm2，超薄窗设计，独立真空； 能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于127eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV； 元素分析范围: Be4～Cf98
收费标准：
SEM: 校内：400元/小时，校外：800元/小时
FIB: 校内：800元/小时，校外：1600元/小时
EDS: 点、线、面扫免费
