喜迎二十大——微纳平台支部联合党建活动在烽火创新谷召开 2022年下半年，中国共产党第二十次全国代表大会将在北京召开。为迎接二十大的顺利召开，促进兄弟单位间基层党支部的党建经验分享、加强专业交流及业务合作，提升基层党支部的建设质量，发挥党支部战斗堡垒作用，国家信息光电子创新中心党支部、中国信科集团总部南区二支部（光纤通信国重实验室基础部党支部）、武汉光电国家研究中心光电子器件与集成功能实验室教工党支...

  5月6日下午，微纳工艺与表征平台响应武汉光电国家研究中心工会号召，组织全体员工举行了“追光逐梦、健步前行“的湖溪河健步行活动。  综合治理后的校园湖溪河，是一条三季有花、四时有景的绿色文化长廊。它全长约1530米，南起珞喻东路，北至东湖子湖喻家湖，从华中科技大学蜿蜒穿流而过。东西两侧，绿草茵茵、灌木一丛一丛，亲水栈道蜿蜒曲折伸向远方，一如诗歌中写到的剑桥柔波和浪漫康桥。  参加健步行活动的教职工们先在...

类型设备型号设备名称产地国生产公司名称性能指标用途光刻VISTEC EBPG 5000PES电子束光刻系统美国荷兰VISTEC LITHOGRAPHY加速电压：50kV与100kV；束电流：100pA~100nA；扫描频率：25GHz；最小束斑直径：2.2nm；最小特征尺寸：8nm；写场拼接误差：20nm；套刻误差：20nm；可加工2～4寸晶片及碎片可进行十纳米级特征尺寸的光刻,可应用于光电子、半导体、微纳机械等领域的相关研究中的微纳加工，如集成光学、光电子器件、半导体器件...

2021年8月20日，《自然·通讯》（Nature Communications）在线发表了华中科技大学武汉光电国家研究中心、光学与电子信息学院张新亮教授、叶镭副教授与国家信息光电子创新中心肖希博士合作研究成果：超高速石墨烯相干光接收机“Ultrahigh-speed graphene-based optical coherent receiver”。这是国际上首例可用于数字相干光通信的高速石墨烯相干光接收芯片，为未来超高速相干光通信网络提供了新的可能。该器件在微纳制造与表征平...

武汉光电国家研究中心打造升级版“微纳工艺与表征平台”微纳工艺与表征平台将在现有硬件设备和工艺能力的基础上，依托集成光子学、光子辐射与探测、光电信息存储等三个研究部，重点建设三条光电子器件工艺线、表征测试平台和超算平台，包括以硅基光互连为代表的硅基光电子器件工艺线；以通信用高速光收发模块为代表的三五族化合物半导体光电子器件工艺线；以新体制二维材料光电子器件为代表的多材料体系混合光电子器件工艺线。...

名称高分辯率X射线衍射仪型号X   Pert pro MRD制造商荷兰菲利普主要功能用于测试半导体外延量子阱结构的综合性质量分析；对晶体膜层进行质量分析；单层金属膜厚分析。技术指标六维精密测角仪，五种测试模式：   Rocking Curve/Triple Axis/薄膜物相/反射率测试/倒易空间Mappin

名称扫描探针显微镜型号Veeco   NanoScope MultiMode制造商美国Veeco主要功能提供起伏1微米以下样品的二维和三维形貌分析特性技术指标分辨率：横向0.26nm， 垂直1nm（以云母晶体标定）样品尺寸：最大可达直径12mm，厚度8mm  

探针式表面台阶测试仪（台阶仪）DEKTAK-XT测量原理：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

名称Raman谱/PL光谱测试仪型号HORIBA Jobin Yvon LabRAM Spectrometer HR 800 UV制造商法国J-Y公司主要功能物质成分的判定与确认技术指标可测光谱范围：330nm～2100nm光源：325nm，514nm，785nm光栅：300，600，1800，2400l/mm， PMT探测器响应范围：800～1700；800～210

名称电化学电容电压剖析仪ECV型号dage WAFER PROFILER CVP 21制造商德国Wep科技公司主要功能采用电化学腐蚀的方法，对半导体Wafer材料进行深度-载流子浓度的测试。技术指标主要应用范围为GaAs及InP系材料，对GaN材料腐蚀较慢。最佳测试范围：载流子浓度量级1015~1020/cm