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热场发射扫描电镜
设备分类:
测试设备
型号:
Nova NanoSEM 450 FP2053/45
房间:
D111
简介:
以波长极短的电子束聚焦后在样品表面扫描,接收从样品表面激发出的二次电子信号成像。主要用于观察固体表面的形貌,也能与EBSD或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,用于物质成分分析。
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扫描电镜/聚焦离子束电镜系统(SEM/FIB)
设备分类:
测试设备
型号:
Quanta 3D FEG SEM/FIB
房间:
D111
简介:
SEM/FIB双束系统主要用于在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。同时,配备纳米机械手之后,可以定点制备TEM样品,此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。
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